اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی

Authors

امیر سبزعلی پور

a sabzalipour university of tehranدانشگاه تهران محمدرضا محمدی زاده

mh mohammadizadeh university of tehranدانشگاه تهران

abstract

بر اساس روش متعارف تداخل نوری، با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی، ضخامت لایه نازک به دست می آید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامت های کم و کاهش خطاهای اندازه گیری، نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله، رسم می شود. با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی، امکان اندازه گیری ضخامت لایه های نازک از مرتبه چند نانومتر فراهم می شود. همچنین با بهره گیری از جابه جایی نمودار شدت و استفاده از اعوجاج های موجود در نمودار شدت فریزهای تداخلی، زبری سطح نمونه با دقت 2 نانومتر اندازه گیری می شود. نتایج مقایسه هر دو اندازه گیری با روش های سنجش مستقیم، حاکی از صحت روش پیشنهاد شده است.

Upgrade to premium to download articles

Sign up to access the full text

Already have an account?login

similar resources

اندازه‌گیری ضخامت و زبری لایه‌های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی

In the standard optical interference fringes approach, by measuring shift of the interference fringes due to step edge of thin film on substrate, thickness of the layer has already been measured. In order to improve the measurement precision of this popular method, the interference fringes intensity curve was extracted and analyzed before and after the step preparation. By this method, one can ...

full text

کاربرد معادله انتقال شدت در تحلیل فریزهای تداخلی

در این پایان نامه روشی برای بازسازی توزیع فاز دو موج تداخل کننده با استفاده از معادله انتقال شدت ارائه می شود. توزیع شدت تداخلی در دو صفحه ی عمود بر راستای انتشار متوسط دو موج ثبت می شود. با حل معادله انتقال شدت تداخلی، گرادیان فاز میدان تداخلی محاسبه می گردد. با بدست آوردن گرادیان اختلاف فاز در هر نقطه و توزیع گرادیان فاز میدان تداخلی، توزیع گرادیان فاز هر یک از امواج تعیین می شود. در نهایت ...

تصحیح تصویر حاصل از پروفایلومترها از سطوحی با زبری نانومتری

در این مقاله نشان می­دهیم که فرآیندهای مارکوف نقشی اساسی در جاروب سطح زبر و مشخص کردن توپوگرافی آن سطح دارند. توپوگرافی سطح حاصل شده از یک پروفایلومتر مانند میکروسکوپ نیروی اتمی AFM (Atomic Force Microscope)، وابسته به برهمکنش سطح با سوزن پروب است. وقتی سایز سوزن پروب با تغییرات ارتفاع سطح قابل مقایسه باشد، تصویر سطح نسبت به سطح اصلی مقداری متفاوت خواهد داشت. اثر سوزن باعث بوجود آمدن یک تلاقی د...

full text

پراکندگی موج از سطوح فراکتالی با زبری نانومتری

در این مقاله اثر سه طول مشخصه طول موج پرتو تابیده شده به سطح (l)، زبری (s) و طول همبستگی سطح (x) برای سطوح با زبری نانومتری با استفاده از شدت موج پراکنده شده به کمک تئوری پراکندگی موج کیرشهف مطالعه شده است. در این مطالعه مشخص شد که مقیاس طول همبستگی نقش مهمی در نوع پراکندگی از سطوح زبر با زبری نانومتری بازی می‌کند. تاکنون در اغلب گزارش‌ها برای پراکندگی موج از سطوح زبر از پارامتر بدون بعد ks است...

full text

اندازه گیری ضخامت شکست لایه های نازک

در این رساله نخست تاریخچه تهیه لایه نازک ، چگونگی تهیه و روشهای مختلف همچنین شرایط لایه گذاری ذکر گردیده سپس چگونگی آماده سازی زیر لایه و شرایط لازم برای لایه نشانی آمده است . در ادامه راههای مختلف اندازه گیری ضخامت و همچنین دقت روشهای مختلف اندازه گیری بیان شده است . در قسمت کارهای عملی و تحقیقات انجام شده سیستمهای لایه گذاری مورد استفاده به همراه شمای اپتیکی دستگاه نشان داده شده است . در این ...

15 صفحه اول

My Resources

Save resource for easier access later


Journal title:
پژوهش فیزیک ایران

جلد ۱۱، شماره ۱، صفحات ۱۵-۲۵

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023